Kontamination ist ein Prozess oder eine Handlung, bei der Materialien oder Oberflächen mit kontaminierenden Substanzen verschmutzt werden. Es gibt zwei große Kategorien von Oberflächenverunreinigungen: Filmtyp und Partikel. Diese Verunreinigungen können in einem Miniaturkreislauf einen „Killerdefekt“ verursachen. Filmverunreinigungen von nur 10 nm (Nanometer) kann die Beschichtungshaftung auf einem Wafer oder Chip drastisch reduzieren. Es ist allgemein anerkannt, dass Partikel von 0.5 Mikrometer oder größer sind das Ziel. jedoch, Einige Branchen zielen jetzt auf kleinere Partikel ab.
Eine unvollständige Liste der Verunreinigungen finden Sie unten. Jeder von ihnen kann die Ursache für das Ausschalten eines Stromkreises sein. Das Ziel ist es zu verhindern, dass diese Verunreinigungen in die Reinraumumgebung gelangen. Es erfordert ein Engagement von jedem, der den Reinraum betritt, um dies zu ermöglichen. Professionelles Reinigungspersonal muss sich der Bedeutung der Kontrolle von Verunreinigungen bewusst sein. Beim Betreten oder Reinigen eines Reinraums sollten strenge Verfahren eingehalten werden. Kompromisse sind bei der Reinigung in einem Reinraum nicht akzeptabel.
Kontaminationsquellen
Dies ist eine unvollständige Liste einiger der allgemein bekannten Verunreinigungen, die in einigen Reinraumumgebungen Probleme verursachen können. Es wurde festgestellt, dass viele dieser Verunreinigungen aus fünf grundlegenden Quellen stammen. Die Einrichtungen, Menschen, Werkzeuge, Flüssigkeiten und die Produkthersteller können alle zur Kontamination beitragen. Sehen Sie sich diese Liste an, um besser zu verstehen, woher die Kontamination stammt.
1.Anlagen
Wände, Böden und Decken
Farben und Beschichtungen
Baumaterial (Felsplatten, Sägemehl usw.)
Klimaanlagenablagerungen
Raumluft und Dämpfe
Verschüttungen und Undichtigkeiten
2.Menschen
Hautschuppen und Öl
Kosmetik und Parfüm
Spuckende Kleidungsreste (Fussel, Fasern usw.)
Haar
3.Werkzeug generiert
Reibungs- und Verschleißpartikel
Schmierstoffe und Emissionen
Vibrationen
Besen, Mopps und Staubtücher
4.Flüssigkeiten
Schwebende Partikel in der Luft
Bakterien, Bio und Feuchtigkeit
Bodenbeläge oder Beschichtungen
Reinigungschemikalien
Weichmacher (outgasses)
Deionized water
5.Product generated
Silicon chips
Quartz flakes
Clean room debris
Aluminum particles
