汚染とは、材料または表面を汚染物質で汚すプロセスまたは行為です。. 表面汚染物質には大きく分けて2つのカテゴリーがあります: フィルムの種類と粒子. これらの汚染物質は、ミニチュア回路に「キラー欠陥」を引き起こす可能性があります. のみのフィルム汚染物質 10 nm (ナノメートル) ウェーハまたはチップへのコーティングの付着を大幅に減らすことができます. の粒子が広く受け入れられている 0.5 ミクロン以上がターゲットです. でも, 一部の業界は現在、より小さな粒子をターゲットにしています.
汚染物質の部分的なリストは以下にあります. これらのいずれかが回路を殺すためのソースになる可能性があります. これらの汚染物質がクリーンルーム環境に侵入するのを防ぐことが目的です. それを実現するには、クリーンルームに入るすべての人のコミットメントが必要です. 専門の清掃担当者は、汚染物質を管理することの重要性を認識する必要があります. クリーンルームに入るとき、またはクリーンルームを掃除するときは、常に厳格な手順に従う必要があります. クリーンルームでの清掃の際の妥協は許されません.
汚染源
これは、一部のクリーンルーム環境で問題を引き起こす可能性のある一般的に知られている汚染物質の一部のリストです。. これらの汚染物質の多くは、5つの基本的な発生源から発生することがわかっています。. ファシリティ, 人, ツール, 液体および製品メーカーはすべて汚染の一因となる可能性があります. このリストを確認して、汚染が発生している場所をよりよく理解してください.
1.設備
壁, 床と天井
ペイントとコーティング
建設材料 (シートロック, おがくずなど)
エアコンの破片
部屋の空気と蒸気
こぼれや漏れ
2.人
スキンフレークとオイル
化粧品と香水
唾を吐く衣類の破片 (lint, 繊維など)
髪
3.生成されたツール
摩擦および摩耗粒子
潤滑剤と排出物
振動
ほうき, モップとダスター
4.流体
空気中に浮遊する粒子
バクテリア, 有機物と水分
床仕上げまたはコーティング
化学薬品の洗浄
可塑剤 (ガスが出る)
脱イオン水
5.生成された製品
シリコンチップ
石英フレーク
クリーンルームのゴミ
アルミニウム粒子
